マスフローコントローラ MQV9500BSRN000000

●流体の質量流量を計測することにより流量制御を行うので、環境温度や使用圧力などの変化による補正を行う必要がなく、高精度で安定した流体計測・制御が可能な機器です。

●半導体やフラットパネルディスプレイなどの高精度な流量計測・制御を要求されるプロセスからソーラーパネルや燃料電池などの次世代クリーンエネルギー、医療関連、一般産業に至るまで幅広い分野で使用されています。

●300msの高速制御性を実現しました。

●瞬時・積算流量表示/出力、ガス種切換え、制御レンジ任意設定が1台で可能です。

●50kPaを下回る低差領域でも制御可能です。(制御可能な流量は、差圧、ガス種類よって異なります)。

●ACアダプター(AC100~240V)が使用できます。

●型式:MQV9500BSRN000000

●流量レンジ:0.004~0.5000L/min

●ガス種類:空気/窒素、酸素、アルゴン、炭酸ガス、都市ガス13A、メタン、ブタン、プロパン

●許容電源電圧:DC21.6～26.4V

●出力信号:瞬時出力:DC0～5V/0～20mA/4～20mA(切換え可能)積算パルス・警報:オープンコレクター×2点他1点

●精度:1%F.S.(機種などにより多少異なります。)

●入数:1台